• 四氟化碳

• 中文名称：
• 四氟化碳

• 中文别名：
• 四氟甲烷

• 英文名称：
• carbon tetrafluoride

• 英文别名：
• Tetrafluoromethane

• CAS号：

• 75-73-0

• EINECS号：
• 200-896-5

• 分子式：
• CF₄

• 分子量：
• 88

• InChI：
• InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5

• 分子结构：
• 

• 密 度：
• -128

• 熔 点：
• -184℃

• 沸 点：
• -128℃

• 闪 点：

• 蒸汽压：

• 物化性质：

• 产品用途：
• 用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂

• 危险品标志：

• 风险术语：

• 安全术语：
• S38:;

• 上游产品：

• 下游产品：